基于双光子聚合（2PP）原理的双光子灰度光刻（2GL®）是Nanoscribe技术，具备体素动态控制能力。在扫描激光焦点横跨扫描平面时，调制曝光剂量会改变光敏树脂内的体素大小，从而实现对聚合体素尺寸的精细可控变化。这是激光功率调制和高速振镜扫描与精确的横向载物台运动同步的结果。为此，将灰度图像转换为曝光级别的空间变化，从而在一个平面上打印不同的体素高度。 2GL有什么优势？ 双光子灰度光刻 技术（2GL®）使用激光束调制和高速振镜的高频同步进行单体素调节，从而实现光学质量表面结构。通过高精度定位单元和自校准程序，可在拼接相邻打印区域时以出色准确性进行打印，以制造大型结构。2GL动态调整打印场边界处的激光剂量，以补偿光敏聚合物的化学诱导收缩和定位缺陷。通过这种功能组合，可以在几平方厘米的区域内打印出真正的无缝结构，消除所有拼接痕迹。
光学元件如何对准并打印到光子芯片上？打印对象的 3D 对准技术是基于具有高分辨率 3D 拓扑绘制的共聚焦单元。 为了精确对准光子芯片上的光学元件，智能软件算法会自动识别预定义的标记和拓扑特征，以确定芯片上波导的确切位置和方向。 然后将虚拟坐标系设置到波导的出口，使其光轴和方向完美对准。 根据该坐标系打印的光学元件可确保好的光学质量并比较大限度地减少耦合损耗。 该项技术可以利用自由空间微光耦合 (FSMOC) 实现高效的光耦合 。 详情咨询纳糯三维科技（上海）有限公司
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